[发明专利]磁力轴承装置、以及真空泵

摘要

本发明提供一种磁力轴承装置，该磁力轴承装置初始调整简单，且不增加控制设备的存储器容量，能够以简单的算法进行最合适的轴承控制。一对平方器（32xp、32xm）以及加法运算器（33）取得将未图示磁力轴承的转子轴在径向方向上在相反方向上吸引的一对电磁铁的各电流稳态值（Ip、Im），分别进行平方化并进行加法运算。然后，为了与磁力轴承的安装姿势相应地使各电磁铁的电流最合适地变化，补正系数运算器（35）根据被平方、加法运算后的电流稳态值（Ip^2＋Im^2）计算作用于电磁铁的补正增益指令值Kcomp。接着，将在电磁铁的控制电路的基本增益Kctrl上加上补正增益指令值Kcomp而得的增益指令值G向输入增益放大器（38）输入。增益放大器（38）基于增益指令值G，生成被补正的电流指令值，从而最合适地控制磁力轴承。

主权项

1.一种磁力轴承装置，具备：借助电磁铁的电磁力将转子轴非接触地支承的磁力轴承，和控制该磁力轴承的控制设备，其特征在于，前述控制设备具备电流取得单元、补正系数运算单元、第1加法运算单元、电流控制单元，前述电流取得单元取得在一对前述电磁铁的各个中流动的电流稳态值，一对前述电磁铁在相反方向上吸引前述磁力轴承的前述转子轴，前述补正系数运算单元根据前述电流稳态值，求出补正增益指令值，前述补正增益指令值对因前述磁力轴承的安装姿势引起的一对前述电磁铁的吸引力产生的不稳定弹性系数进行补偿，前述第1加法运算单元将前述补正增益指令值和与前述磁力轴承的安装姿势无关的唯一地确定的基本增益进行加法运算来求出增益指令值，前述电流控制单元借助基于前述增益指令值而生成的电流指令值，控制在一对前述电磁铁的各个中流动的电流，前述电流取得单元具备将在一对前述电磁铁的各个中流动的前述电流稳态值个别地平方化的一对平方化单元，和将一对前述平方化单元个别地平方化后的各个电流稳态值进行加法运算的第2加法运算单元。