[发明专利]用于计算结构的电磁散射性质及用于估计其几何和材料参数的方法和装置

摘要

在散射测量中，在迭代过程中使用包括正则化参数的评价函数来寻找用于测量的目标的散射性质的值。针对每个测量目标并且在迭代过程的每次迭代中获得正则化参数的最优值。可以使用多种方法来寻找正则化参数的值，方法包括偏差原理、卡方分布方法以及包括评价函数的偏差原理和包括评价函数的卡方分布方法的创新性修改。

主权项

1.一种计算结构的电磁散射性质的方法，所述结构包括不同性质的材料并且所述结构在至少一个横向方向上是周期性的并且在相对于所述至少一个横向方向正交的方向上延伸，所述方法包括：测量从所述结构散射的辐射以获得测量数据；提供所述结构的所述电磁散射性质的先验估计；从所述测量数据导出正则化系数；通过在辐射由所述结构散射的数学模型中使用所述散射性质的试验值和所述正则化系数来获得所述散射性质的估计；通过参考评价函数来确定是否满足终止条件，所述评价函数的参数包括所述正则化系数和所述先验估计和所述散射性质的所述估计；以及如果不满足所述终止条件，迭代地重复获得预测数据和导出正则化系数直到满足所述终止条件；其中由最终迭代提供的新的试验值代表计算的所述电磁散射性质。