[发明专利]带电粒子束系统和操作带电粒子束系统的方法有效
| 申请号： | 201480064651.5 | 申请日： | 2014-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN105765691B | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 斯特凡·舒伯特;托马斯·克门;赖纳·克尼佩梅尔 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司显微镜有限责任公司;应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | H01J37/28 | 分类号： | H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司11127 | 代理人： | 吕俊刚 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种操作带电粒子束系统的方法，该方法包括从源提取粒子束；执行束的粒子的第一次加速；在执行所述第一次加速之后，从所述束形成多个粒子子束；执行所述子束的粒子的第二次加速；在执行所述第二次加速之后，执行所述子束的粒子的第一次减速；在执行所述第一次减速之后，使所述子束沿着与所述子束的粒子的传播方向横向定向的方向偏转；在使所述子束偏转之后，执行所述子束的粒子的第二次减速；以及在执行所述第二次减速之后，允许所述子束的粒子入射到对象表面上。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 系统 操作 方法 | ||
【主权项】：
一种操作带电粒子束系统的方法，所述方法包括：从源提取粒子束；执行所述粒子束的粒子的第一次加速；在执行所述第一次加速之后，从所述粒子束形成多个粒子子束；执行所述子束的粒子的第二次加速；在执行所述第二次加速之后，执行所述子束的粒子的第一次减速；在执行所述第一次减速之后，使所述子束沿着与所述子束的粒子的传播方向横向定向的方向偏转；在使所述子束偏转之后，执行所述子束的粒子的第二次减速；以及在执行所述第二次减速之后，允许所述子束的粒子入射到对象表面上。
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