[发明专利]具有对流和辐射加热的熔炉

摘要

本发明涉及用于控制至少一个基板（102）的温度的熔炉，特别是连续式熔炉。熔炉的外壳（100）包括进风口（103）和出风口（104），其中，在进风口（103）与出风口（104）之间形成温度控制部（105）。用于承载所述至少一个基板（102）的载体元件（120）可沿着运输方向（101）移动通过进风口（103）进入温度控制部（105）且从温度控制部（105）通过出风口（104）。温度控制元件（106）热联接到温度控制部（105）以便控制温度控制部（105）的温度。所述温度控制部（105）包括进气口（108），气体（110）可通过该进气口吹送以便控制温度控制部（105）的温度。

主权项

1.一种用于控制至少一个基板（102）的温度的熔炉，该熔炉包括/n外壳（100），其包括进风口（103）和出风口（104），/n其中，在进风口（103）与出风口（104）之间形成温度控制部（105），/n载体元件（120），其用于承载所述至少一个基板（102），/n其中，所述载体元件（120）可沿着运输方向（101）移动通过进风口（103）进入温度控制部（105）且从温度控制部（105）通过出风口（104），/n温度控制元件（106），其热联接到温度控制部（105）以便控制温度控制部（105）的温度，/n其中，所述温度控制部（105）包括进气口（108），气体（110）可通过该进气口吹送以便控制温度控制部（105）的温度，/n其特征在于，/n包括在外壳（100）内的所述进风口（103）和出风口（104）中的至少一个包括另一进气口（111），通过该进气口可注入阻挡气体（118），使得产生用于将温度控制部（105）与温度控制部（105）的外面环境或温度控制部（105）的邻接部隔离的气体阻挡，/n所述熔炉还包括载体元件装置，其包括用于承载基板（102）的至少所述载体元件（120），/n其中，所述载体元件装置包括第一端部和第二端部，/n其中，所述载体元件装置形成且可布置在外壳（100）内，使得第一端部位于进风口（103）内且第二端部位于出风口（104）内。/n