[发明专利]弹性波装置以及其制造方法有效
| 申请号： | 201480066259.4 | 申请日： | 2014-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN105794107B | 公开（公告）日： | 2018-12-25 |
| 发明（设计）人： | 西条慎;山崎央;山本浩司;甲斐诚二;渡边宗久 | 申请（专利权）人： | 株式会社村田制作所 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H3/08;H03H9/25 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛凯 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供难以出现压电薄膜的破裂或剥落的弹性波装置。在弹性波装置(1)中，在支承基板(2)上层叠将包含压电薄膜(6)的多个膜层叠而成的层叠膜(3)，IDT电极(11)设置在压电薄膜(6)的一面，在IDT电极(11)连接布线电极(12)，布线电极(12)具有引出电极部(13)和焊盘电极部(14)，外部连接端子(7)位于焊盘电极部(14)的上方，外部连接端子(7)与焊盘电极部(14)电连接，在支承基板(2)上，在焊盘电极部(14)上接合外部连接端子(7)，使层叠膜(3)中至少压电薄膜(6)不存在于焊盘电极部(14)的下方。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 装置 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种弹性波装置，其特征在于，具备：支承基板；层叠膜，其层叠在所述支承基板上，将包含压电薄膜的多个膜层叠而成；IDT电极，其设置在所述压电薄膜的一面；引出电极部，其形成在所述层叠膜上，且与所述IDT电极电连接；焊盘电极部，其与所述引出电极部相连；支承框，其被设置成包围设有所述IDT电极的区域，直接或间接层叠在所述支承基板上；盖件，其设置在所述支承框上；凸块下金属层，其位于所述焊盘电极部的上方，被设置成贯通所述支承框以及所述盖件；和外部连接端子，其在所述凸块下金属层上的位置，与所述凸块下金属层接合，所述层叠膜中至少所述压电薄膜被设置成不存在于所述焊盘电极部以及所述支承框的下方。
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