[发明专利]玻璃基板的精研磨方法、以及利用该方法进行了精研磨的无碱玻璃基板

摘要

本发明涉及玻璃基板的精研磨方法，其使用含有氧化铈作为研磨磨粒的研磨浆料对玻璃基板的主面进行研磨，其中，所述玻璃基板的组成为下述的无碱玻璃，所述玻璃基板的精研磨方法包括以下阶段：在将所述玻璃基板的主面的换算为20mm间距的起伏而得到的起伏高度自0.14μm变化至0.10μm时的所述玻璃基板的研磨量设为X(μm)时，在使0.04/X为0.12以上的条件下进行研磨。

主权项

一种玻璃基板的精研磨方法，其使用含有氧化铈作为研磨磨粒的研磨浆料对玻璃基板的主面进行研磨，其中，所述玻璃基板的组成为下述的无碱玻璃，所述玻璃基板的精研磨方法包括以下阶段：在将所述玻璃基板的主面的换算为20mm间距的起伏而得到的起伏高度自0.14μm变化至0.10μm时的所述玻璃基板的研磨量设为X(μm)时，在使0.04/X为0.12以上的条件下进行研磨；所述无碱玻璃的应变点为680～735℃，50～350℃下的平均热膨胀系数为30×10^‑7～43×10^‑7/℃，玻璃粘度达到10²dPa·s时的温度T₂为1710℃以下，玻璃粘度达到10⁴dPa·s时的温度T₄为1330℃以下，以氧化物基准的摩尔％表示，所述无碱玻璃含有：MgO+CaO+SrO+BaO为15.5～21，MgO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.35以上，CaO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.50以下，SrO/(MgO+CaO+SrO+BaO)为0.50以下。