[发明专利]层叠膜和柔性电子器件有效
| 申请号： | 201480070996.1 | 申请日： | 2014-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN105848880B | 公开（公告）日： | 2017-09-08 |
| 发明（设计）人： | 山下恭弘;伊藤丰;中岛秀明 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | B32B9/00 | 分类号： | B32B9/00;C23C16/42 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司11219 | 代理人： | 王海川,穆德骏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种层叠膜，其具有挠性基材、形成在上述基材的至少单侧的表面上的第1薄膜层和形成在第1薄膜层上的第2薄膜层，其中，上述第1薄膜层含有硅原子(Si)、氧原子(O)和碳原子(C)，上述第2薄膜层含有硅原子、氧原子和氮原子(N)，上述第1薄膜层和第2薄膜层使用辉光放电等离子体形成。 | ||
| 搜索关键词： | 层叠 柔性 电子器件 | ||
【主权项】：
一种层叠膜，其具有挠性基材、形成在所述基材的至少单侧的表面上的第1薄膜层和形成在第1薄膜层上的第2薄膜层，其中，所述第1薄膜层含有硅原子(Si)、氧原子(O)和碳原子(C)，所述第2薄膜层含有硅原子、氧原子和氮原子(N)，所述第1薄膜层和第2薄膜层使用辉光放电等离子体形成。
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