[发明专利]具有传感器组装件的带电粒子光刻系统有效
| 申请号： | 201480070999.5 | 申请日： | 2014-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN105849854B | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | P·I·谢弗斯 | 申请（专利权）人： | 迈普尔平版印刷IP有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司31100 | 代理人： | 罗婷婷 |
| 地址： | 荷兰*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于将图案转移到目标上的带电粒子光刻系统，所述系统包括目标定位设备，该目标定位设备包括具有用于支托目标的第一侧的目标支托架；带电粒子光学单元，该带电粒子光学单元用于生成带电粒子束、调制所述带电粒子束、并且将所述带电粒子束引向目标支托架的第一侧；以及传感器组装件，该传感器组装件包括转换器元件，所述转换器元件用于将撞击在所述转换器元件上的带电粒子转换成光，其中转换器元件被布置在所述目标定位设备上；光传感器，所述光传感器用于检测光，其中光传感器被布置在离所述目标定位设备的一距离处；以及光学透镜，所述光学透镜被布置在转换器元件和光传感器之间以用于将源自所述转换器元件的光引向所述传感器。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 传感器 组装 带电 粒子 光刻 系统 | ||
【主权项】：
一种用于将图案转移到目标上的带电粒子光刻系统，所述系统包括：目标定位设备，所述目标定位设备包括具有用于支托所述目标的第一侧的目标支托架；带电粒子光学单元，所述带电粒子光学单元用于生成带电粒子束、调制所述带电粒子束、并且将所述带电粒子束引向所述目标支托架的所述第一侧；以及用于确定所述带电粒子束的特性的传感器组装件，所述传感器组装件包括：转换器元件，所述转换器元件用于将撞击在所述转换器元件上的带电粒子转换成光，其中所述转换器元件被布置在所述目标定位设备上；光传感器，所述光传感器用于检测所述光，其中所述光传感器被布置在离所述目标定位设备的一距离处；以及光学透镜，所述光学透镜被布置在所述转换器元件和所述光传感器之间以用于将源自所述转换器元件的光引向所述传感器；其中所述转换器元件可以独立于所述光传感器移动。
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