[发明专利]层叠膜、有机电致发光装置、光电转换装置和液晶显示器

摘要

本发明的层叠膜为具有基材和薄膜层且薄膜层满足条件(i)、(ii)、(iii)的层叠膜。(i)含有硅原子、氧原子、碳原子和氢原子。(ii)表示厚度方向上的相对于各原子的合计量的硅原子、氧原子和碳原子的比率的硅分布曲线、氧分布曲线和碳分布曲线中，各原子的分布曲线各自为连续的，且碳分布曲线具有至少一个极值。(iii)在一层的薄膜层中，该层的内部构成密度不同的多层，各层的厚度相对于层整体的厚度具有10％以上的厚度，最靠近基材侧的层A的密度X与密度最高的层B的密度Y具有式(1)的关系，X<Y(1)。

主权项

一种层叠膜，其具有基材和形成在所述基材的至少单侧的面上的至少一层薄膜层，所述薄膜层中的至少一层薄膜层具有各自通过不同的成膜条件形成的至少两层，所述薄膜层中的至少一层薄膜层满足全部下述条件(i)～(iii)：(i)所述薄膜层含有硅原子、氧原子、碳原子和氢原子；(ii)分别表示所述薄膜层的厚度方向上的自所述薄膜层的表面起的距离与硅的原子比、氧的原子比和碳的原子比的关系的硅分布曲线、氧分布曲线和碳分布曲线中，所述硅分布曲线、所述氧分布曲线和所述碳分布曲线各自为连续的，且所述碳分布曲线具有至少一个极值，所述硅的原子比为所述距离的位置的相对于所述薄膜层所包含的硅原子、氧原子和碳原子的合计量的硅原子的量的比率，所述氧的原子比为所述距离的位置的相对于所述薄膜层所包含的硅原子、氧原子和碳原子的合计量的氧原子的量的比率，所述碳的原子比为所述距离的位置的相对于所述薄膜层所包含的硅原子、氧原子和碳原子的合计量的碳原子的量的比率，(iii)将所述薄膜层假定为按照下述条件模型化的包含多层的层叠体时，最靠近基材侧的层A的密度X与除层A以外的密度最高的层B的密度Y满足下述式(1)所示的条件，所述密度X的单位为g/cm3，所述密度Y的单位为g/cm3，X<Y  (1)；模型化条件：将一层的薄膜层假定为包含多层的层叠体模型；使层叠体中的各层内的密度和构成层叠体中的各层的原子的组成比恒定；设定层叠体中的各层的厚度、密度和元素的组成比使得分别符合以下的条件；设定层叠体模型使得：层叠体中的各层的厚度相对于层叠体的厚度具有10％以上的厚度，由散射角度为160°的卢瑟福后向散射和散射角度为30°的氢前向散射得到的层叠膜的能谱的积分值与由层叠体模型计算的能谱的计算值各自落入5％以内的误差范围内。