[发明专利]通过斐索干涉术测量球形像散光学区域的方法有效
| 申请号： | 201480073553.8 | 申请日： | 2014-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN105917190B | 公开（公告）日： | 2019-09-10 |
| 发明（设计）人： | S.舒尔特;F.希尔克 | 申请（专利权）人： | 卡尔蔡司SMT有限责任公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 陈钘;张邦帅 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种测量球形像散光学区域(40)的方法，包含以下步骤：a)通过波前生成装置(10)产生球形像散波前作为测试波前；b)干涉地测量在所述波前生成装置(10)与所述球形像散区域(40)之间的波前差，所述球形像散表面适配于所述波前生成装置(40)，使得所述测试波前基本在竖直方向上照射在所述球形像散区域(40)中的任意点，进行多个测量，在所述多个测量中，在围绕像散半径的两个中心球形化和/或围绕球形像散区域(40)的表面法线旋转180°的多个位置处测量所述球形像散区域(40)，从而确定相应干涉图位相；以及c)通过数学重建法，建立所述波前生成装置(10)的波前和所述球形像散区域(40)的形状，因此，所述球形像散区域(40)的表面通过使用合适的处理方法来校正，步骤a)至c)被重复直到所述波前差小于限定阈值。 | ||
| 搜索关键词： | 通过 干涉 测量 球形 散光 区域 方法 | ||
【主权项】：
1.一种测量球形像散光学表面(40)的方法，包含以下步骤：a)通过波前生成装置(10)产生球形像散波前作为测试波前；b)干涉地测量在所述波前生成装置(10)与所述球形像散光学表面(40)之间的波前差，所述球形像散光学表面适配于所述波前生成装置，使得所述测试波前在所述球形像散光学表面(40)的各个点处基本垂直地入射，其中，进行多个测量，在所述多个测量中，在围绕像散半径的两个中心球形化和/或围绕球形像散光学表面(40)的表面法线旋转180°的多个位置处测量所述球形像散光学表面(40)，其中相应干涉图位相得到确定；以及c)通过数学重建法，建立所述波前生成装置(10)的波前和所述球形像散光学表面(40)的表面形状，由此，所述球形像散光学表面(40)的表面通过合适的处理方法来校正，其中，步骤a)至c)被重复直到所述波前差位于限定阈值下为止。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司，未经卡尔蔡司SMT有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201480073553.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：热释电传感器
- 下一篇：交互式学习热水加热计划器
