[发明专利]具有可变带隙沟道的隧穿场效应晶体管有效
申请号: | 201480076343.4 | 申请日: | 2014-03-28 |
公开(公告)号: | CN106030817B | 公开(公告)日: | 2019-11-22 |
发明(设计)人: | U·E·阿维奇;D·E·尼科诺夫;I·A·扬 | 申请(专利权)人: | 英特尔公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/336 |
代理公司: | 72002 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 林金朝;王英<国际申请>=PCT/US2 |
地址: | 美国加*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 本发明描述了包括可变带隙沟道的隧穿场效应晶体管(TFET)。在一些实施例中,可以通过诸如电压或电场等力的施加或撤除的至少其中之一来动态改变可变带隙沟道的一个或多个带隙特性。在一些实施例中,可变带隙沟道可以被配置为响应于力的施加和/或撤除而从导通调制到截止状态,反之亦然。可变带隙沟道在导通状态中可以呈现出比在截止状态中更小的带隙。结果,TFET可以呈现出相对高的导通电流、相对低的截止电流和低于60mV/十倍程的亚阈值摆幅中的一个或多个。 | ||
搜索关键词: | 具有 可变 沟道 场效应 晶体管 | ||
【主权项】:
1.一种隧穿场效应晶体管,包括:/n源极;/n漏极;/n所述源极与所述漏极之间的可变带隙沟道,其中,所述可变带隙沟道包括第一材料层和第二材料层,其中,所述第一材料层包括第一氧化物,并且所述第二材料层包括被部分氧化并与所述第一氧化物互补的第二氧化物;以及/n紧邻所述可变带隙沟道的至少一个栅极区;/n其中,所述可变带隙沟道的至少一个带隙特性响应于对所述可变带隙沟道的力的施加和去除的至少其中之一而动态变化。/n
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