[发明专利]光谱仪、光谱仪的波导片的制造方法及其结构

摘要

公开了一种光谱仪、光谱仪的波导片的制造方法及其结构。在制造方法中，利用微机电制造程序使硅晶圆形成至少一个波导片(1)，波导片(1)具有至少一定位侧边(12)以及至少一杂光散逸侧边(13)。光谱仪组件(31)可精确定位于定位侧边(12)，减少光谱仪组件间于抵靠波导片时存在的错位现象，且杂光经由杂光散逸侧边(13)而离开，减少噪音误差，可提升光谱仪的感度和解析度。

主权项

一种光谱仪的波导片的制造方法，其特征在于，包括：设定一微机电制程图案，该微机电制程图案包括该光谱仪的一第一波导片图案；以及依据该微机电制程图案进行一微机电制造程序以产生至少一波导片，其中上述波导片具有由该微机电制造程序所形成的至少一定位侧边与至少一杂光散逸侧边，上述定位侧边用以供该光谱仪的一光谱仪组件抵靠而使该光谱仪组件定位于上述定位侧边，上述杂光散逸侧边用以作为一杂光输出口的一侧。