[发明专利]用于可旋转阴极的遮蔽装置、可旋转阴极以及用于遮蔽沉积设备中的暗空间的方法有效
| 申请号： | 201480078747.7 | 申请日： | 2014-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN106463326B | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | H·吴尔斯特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 根据本公开，提供一种用于可旋转阴极的遮蔽装置(20)以及一种用于遮蔽沉积设备中的暗空间区域的方法，所述可旋转阴极具有用于将材料沉积到基板上的可旋转靶材(10)。所述遮蔽装置(20)包括：遮蔽件(21)，配置成用于覆盖可旋转靶材(10)的部分；以及固定件(80)，用于将所述遮蔽件(21)连接至所述可旋转靶材(10)。固定件(80)配置成用于与所述遮蔽件(21)啮合，以允许所述遮蔽件在可旋转靶材的轴向上基本上远离可旋转靶材(10)的中心膨胀。 | ||
| 搜索关键词： | 可旋转靶材 阴极 可旋转 遮蔽件 遮蔽装置 沉积设备 固定件 遮蔽 啮合 材料沉积 空间区域 基板 配置 膨胀 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种用于可旋转阴极的遮蔽装置(20)，所述可旋转阴极具有用于将材料溅射到基板上的可旋转靶材(10)，所述遮蔽装置包括：‑遮蔽件(21)，所述遮蔽件配置成用于覆盖所述可旋转靶材(10)的部分；以及‑固定件(80)，所述固定件用于将所述遮蔽件(21)连接至所述可旋转靶材(10)，其中所述固定件(80)配置成用于与所述遮蔽件(21)啮合，以便允许所述遮蔽件在所述可旋转靶材的轴向上基本上远离所述可旋转靶材(10)的中心(13)膨胀，并且其中所述遮蔽件(21)的重心在用于将所述遮蔽件连接至所述可旋转靶材的所述固定件(80)下方。
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