[发明专利]F-θ型光刻镜头

摘要

一种F‑θ型光刻镜头，包括沿入射光线的传输方向共轴设置的第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3)和第四透镜(L4)；其中第一透镜(L1)为弯月透镜，第二透镜(L2)为弯月透镜，第三透镜(L3)为平凸透镜，第四透镜(L4)为平面透镜；第一透镜(L1)包括第一面(S1)和第二面(S2)，第二透镜(L2)包括第三面(S3)和第四面(S4)，第三透镜(L3)包括第五面(S5)和第六面(S6)，第四透镜(L4)包括第七面(S7)和第八面(S8)；第一面(S1)至第八面(S8)沿入射光线的传输方向依次排布；第一面(S1)至第八面(S8)的曲率半径依次为：‑29mm，‑88mm，‑56mm，‑36mm，∞，‑116mm，∞，∞；第一透镜(L1)至第四透镜(L4)的中心厚度(d1、d2、d3、d4)依次为：3mm，6mm，6mm，3mm。

主权项

1.一种F‑θ型光刻镜头，其特征在于，由沿入射光线的传输方向共轴设置的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜组成；其中所述第一透镜为弯月透镜，所述第二透镜为弯月透镜，所述第三透镜为平凸透镜，所述第四透镜为平面透镜；所述第一透镜包括第一面和第二面，所述第二透镜包括第三面和第四面，所述第三透镜包括第五面和第六面，所述第四透镜包括第七面和第八面；所述第一面至第八面沿入射光线的传输方向依次排布；所述第一面至所述第八面的曲率半径依次为：‑29mm，‑88mm，‑56mm，‑36mm，∞，‑116mm，∞，∞；所述第一透镜至所述第四透镜的中心厚度依次为：3mm，6mm，6mm，3mm。