[发明专利]扫描型探针显微镜有效
| 申请号： | 201480081888.4 | 申请日： | 2014-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN107076779B | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 池田雄一郎 | 申请（专利权）人： | 株式会社岛津制作所 |
| 主分类号： | G01Q90/00 | 分类号： | G01Q90/00 |
| 代理公司： | 上海立群专利代理事务所(普通合伙) 31291 | 代理人： | 毛立群;杨楷 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种扫描型探针显微镜，能够排除振动干扰的影响，正确并高分辨率地获得样品S的表面信息，扫描型探针显微镜(1)构成为具备主体部(10)与控制部(30)，所述主体部(10)具有：悬臂(21)，具有探针(21a)；传感器(23)，检测悬臂(21)的位移；XYZ驱动机构(25)，使悬臂(21)或者样品S移动；除振机构(12)，所述控制部(30)控制XYZ驱动机构(25)并且获取样品S的测量范围的表面信息，所述扫描型探针显微镜(1)还具备：无线支架(60)，具有供电线圈(63)与支架侧收发部(64)；电源信号缆线(42)，连接无线支架(60)与控制部(30)，主体部(10)具有：高电压发生电路(15)，用于驱动XYZ驱动机构(25)；受电线圈(13)；主体部侧收发部(14)，用于与支架侧收发部(64)通信。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 | ||
【主权项】：
1.一种扫描型探针显微镜，具备主体部与控制部，所述主体部具有：样品载置台，载置有样品；悬臂，在自由端部具有探针；传感器，检测所述悬臂的自由端部的位移；XYZ驱动机构，使所述悬臂或者样品在XYZ方向上移动；除振机构，用于除去振动，所述控制部对所述XYZ驱动机构进行控制并且获取所述样品的测量范围的表面信息，所述扫描型探针显微镜具备：无线支架，具有供电线圈与支架侧收发部；电源信号缆线，连接所述无线支架与所述控制部，所述主体部具有：高电压发生电路，生成用于驱动所述XYZ驱动机构的高电压信号；受电线圈，用于被从所述供电线圈供电；主体部侧收发部，用于与所述支架侧收发部通信。
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