[发明专利]一种无尘车间内空气分析方法及系统在审
| 申请号： | 201510005253.2 | 申请日： | 2015-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN104459059A | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 卞正凤 | 申请（专利权）人： | 海太半导体（无锡）有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 无锡市朗高知识产权代理有限公司 32262 | 代理人： | 杨虹 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种无尘车间内空气分析方法及系统，在所述无尘车间内设置多个采样点；在所述各采样点处进行外气采样、及空气进入所述过滤器的过滤出口之前和之后的采样；对所采样空气样本进行元素分析；对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理；本发明保证产线内空气中SO4情况被管理，以预防因其超管理线而导致的产品信赖性失效。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 无尘车间 空气 分析 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种无尘车间内空气分析方法，所述无尘车间内设有过滤器，其特征在于，所述方法包括：在所述无尘车间内设置多个采样点；在所述各采样点处进行外气采样、及空气进入所述过滤器的过滤出口之前和之后的采样；提供元素分析设备对所采样空气样本进行元素分析；对所述元素分析获得的数据进行与标准数据的比对及监控，对监控发现的异常数据并进行管理改善和处理。
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