[发明专利]一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头

摘要

本发明是一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头，其光学结构为双方远心结构，物像共轭总长为l＝1500mm；其中物方视场为Φ120mm，物方数值孔径NA＝0.1。本镜头放大倍率β＝‑1×，即按原比例成倒像于像面且质量较好，分辨力σ<3μm。该镜头设计工作波段为λ＝(365±10)nm紫外光，镜片数量少同时成像质量好，用于大视场，大数值孔径投影光刻成像。

主权项

一种大视场大数值孔径紫外光投影光刻物镜镜头，其特征是：从物面沿光轴方向开始，共有8块镜片，依次为L1～L8；其中物面到光阑之间有4块镜片，光阑到像面之间有4块镜片；所述8块镜片中，L1、L4、L5为负透镜，其余为正透镜；实际镜片参数和镜片中心距参数如下表格所示：  半径 中心距 玻璃材料 物面   50.000000   1 ‑864.509195 29.998672 熔石英 2 157.862131 40.000000   3 ‑199.203436 34.641077 熔石英 4 ‑151.151656 0.199795   5 268.823789 42.072879 熔石英 6 ‑217.431443 358.782672   7 58.012704 35.550495 熔石英 8 41.164737 14.383094   光阑   15.000000   9 ‑113.861399 70.000069 熔石英 10 ‑230.600400 80.339292   11 ‑368.040727 46.771272 熔石英 12 ‑132.138493 2.000000   13 1711.117782 36.722979 熔石英 14 ‑516.244800 363.490950   15 1558.205060 30.089739 熔石英 16 ‑611.292037 249.957038   像面   。