[发明专利]一种制备氧化铟八面体纳米晶薄膜的方法

摘要

本发明涉及一种在基体上制备微观形貌为八面体纳米晶的氧化铟薄膜的方法，包括以下步骤（1）配制乙二醇、水、无水乙醇和冰醋酸的混合溶液，再将无机铟盐溶解其中，形成铟离子浓度为0.50‑2.60 mol·L‑1的溶液，并在室温下快速搅拌2 h；（2）在上述溶液中加入柠檬酸并搅拌、溶解，其中柠檬酸的浓度为0.08‑0.60 mol·L‑1；（3）将（2）所述的溶液加热到30‑70°C，并在此温度下搅拌1‑8 h，冷却，获得溶胶；（4）将（3）所述溶胶1‑5滴滴到洁净的2×2 cm2的基片上，通过旋涂工艺制膜，所得薄膜于100°C下干燥2 h，得到凝胶薄膜；（5）将（4）所述凝胶薄膜于450‑700°C下烧结，得到氧化铟八面体纳米晶薄膜。本发明的制备方法基于温和的溶胶‑凝胶工艺，无需CVD生长系统，能够直接在基体上制备微观形貌为八面体纳米晶的氧化铟薄膜，具有无催化剂残留、不需要气氛保护、单次反应产量大、成本低等优点。

主权项

一种制备氧化铟八面体纳米晶薄膜的方法，其特征在于包括以下步骤：（1）配制乙二醇、水、无水乙醇和冰醋酸的混合溶液，再将无机铟盐溶解其中，形成铟离子浓度为0.50 ‑ 2.60 mol·L‑1的溶液，并在室温下快速搅拌2 h；（2）在（1）所述的溶液中加入柠檬酸并搅拌、溶解，其中柠檬酸的浓度为0.08‑0.60 mol·L‑1；（3）将（2）所述的溶液加热到30 ‑ 70°C，并在此温度下搅拌1‑ 8 h，冷却，获得溶胶；（4）将（3）所述溶胶1‑5滴滴到洁净的2 × 2 cm2的基片上通过旋涂工艺制膜，所得薄膜于100°C下干燥2 h，得到凝胶薄膜；（5）将（4）所述凝胶薄膜于450‑700°C下烧结，得到氧化铟八面体纳米晶薄膜；（1）中所述混合溶液，乙二醇、水、无水乙醇和冰醋酸的体积比为 (1‑5) : (0‑6) : (2‑8) : (2‑15)；所述的无机铟盐为 In(NO3)3或In (C2H3O2)3及它们的含水盐；（4）中所述的基片为玻璃片或FTO导电玻璃或ITO导电玻璃；所述旋涂制膜的条件，为2000 ‑ 8000 rpm的转速下旋涂10 ‑ 500秒。