[发明专利]一种溅射靶材用大单重宽幅钼板带的轧制方法有效
| 申请号： | 201510013786.5 | 申请日： | 2015-01-12 |
| 公开（公告）号： | CN104624642A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 蒋焕迎;李临洁;张国杰;蒋焕召 | 申请（专利权）人： | 郑州通达重型机械制造有限公司 |
| 主分类号： | B21B1/30 | 分类号： | B21B1/30;B21B37/74 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人： | 牛爱周 |
| 地址： | 450100 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种溅射靶材用大单重宽幅钼板带的轧制方法，包括1)取粉末冶金烧结钼板坯，加热至1485～1495℃，以48～52m/min的轧制速度进行二火次六道次热轧得钼板A；2)取钼板A，以38～42m/min的轧制速度进行三道次冷轧，退火得钼板B；3)取钼板B加热至845～855℃，以90～100m/min的轧制速度进行轧制，后进行平整，即得。本发明的轧制方法，所得钼板带成品规格较大，纯度高，密度大，晶粒间隙小，致密度均匀，平均晶粒尺寸小，各向异性小晶粒均匀，表面平直度高，具有优异的表面质量和使用性能，满足了大型化和高精细化LCD面板制造用溅射钼靶材对规格和使用性能的要求，适合推广应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 靶材用大单重 宽幅 钼板带 轧制 方法 | ||
【主权项】：
一种溅射靶材用大单重宽幅钼板带的轧制方法，其特征在于：包括下列步骤：1)开坯：取粉末冶金烧结钼板坯，加热至1485～1495℃，以48～52m/min的轧制速度进行二火次六道次热轧，空冷，碱洗，得钼板A；2)冷轧：取步骤1)所得钼板A，以38～42m/min的轧制速度进行三道次冷轧，退火，得钼板B；3)平整：取步骤2)所得钼板B，加热至845～855℃，以90～100m/min的轧制速度进行轧制，后进行平整，即得。
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