[发明专利]光学层析装置

摘要

本发明提供一种光学层析装置，抑制来自测量对象的表面的反射光的影响，得到测量对象的清晰的像。本发明的光学测量装置包括出射激光的光源；使上述激光分束为信号光和参考光的光分束单元；使上述信号光会聚照射在测量对象上的物镜；使上述信号光的会聚位置在光轴方向上扫描的会聚位置扫描单元；使被测量对象反射或散射后的信号光与上述参考光合束而生成相位关系彼此不同的多束干涉光的干涉光学系统；检测上述多束干涉光，将多个检测信号作为电信号输出的光检测器；和对上述多个检测信号实施运算处理的信号处理部，在上述信号处理部中从上述多个检测信号的每一个或者从使用这些检测信号生成的各个信号中减去来自测量对象的特定部位的反射光成分。

主权项

一种光学测量装置，其特征在于，包括：出射激光的光源；使所述激光分束为第一信号光和第一参考光的光分束单元；使所述第一信号光会聚照射在测量对象上的物镜；使所述第一信号光的会聚位置扫描的会聚位置扫描单元；干涉光学系统，使所述第一信号光与所述第一参考光合束，生成所述第一信号光与所述第一参考光的干涉相位彼此相差90度的整数倍的干涉光；电流差动式的光检测器，检测所述第一信号光与所述第一参考光的干涉相位彼此相差180度的干涉光的对；和信号处理部，从由所述光检测器检测所述干涉相位彼此相差180度的干涉光的对而得到的光轴方向的位置z处的检测信号I(z)、Q(z)中，分别减去各自包括的来自所述测量对象的特定部位的反射信号成分，之后实施平方和运算而生成图像化信号。