[发明专利]一种KMPR光刻胶用KOH显影液有效
| 申请号： | 201510018447.6 | 申请日： | 2015-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN104597727A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 周国富;李发宏;窦盈莹;水玲玲;罗伯特·安德鲁·海耶斯 | 申请（专利权）人： | 深圳市国华光电科技有限公司;华南师范大学;深圳市国华光电研究所 |
| 主分类号： | G03F7/32 | 分类号： | G03F7/32 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 唐致明 |
| 地址： | 518110 广东省深圳市龙华新区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种KMPR光刻胶用KOH显影液，所述显影液由适量的KOH和去离子水组成，进一步地，在KOH显影液中加入K2HPO4制成缓冲溶液，随着显影液中的碱性基团逐渐被中和，推动了缓冲溶液物质水合反应的进行，进而释放出碱性基团，降低了显影液显影效力的降低速度，起到了碱性基团的缓释效果，从而延缓了生产中显影时间的调整，提高了产品的质量和稳定性。进一步的，为了达到更好的显影效果，显影液中还可以加入表面活性剂和消泡剂等。本发明的KMPR胶用KOH显影液，可以较好地显影KMPR胶，而不会像有机溶液一样对环境造成污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 kmpr 光刻 koh 显影液 | ||
【主权项】：
一种KMPR光刻胶用KOH显影液，其特征在于：所述显影液由KOH和去离子水组成，其中KOH的含量为0.01‑10wt%。
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