[发明专利]薄膜晶体管、其制造方法和具有薄膜晶体管的平板显示器有效
| 申请号： | 201510019160.5 | 申请日： | 2015-01-14 |
| 公开（公告）号： | CN104795448B | 公开（公告）日： | 2020-04-07 |
| 发明（设计）人： | 车明根;朴常镐;罗玄宰;姜闰浩;金大颢 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/423;H01L29/417;H01L29/43;H01L21/44;H01L21/34;H01L27/32;G02F1/1368 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 于会玲;康泉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种薄膜晶体管、其制造方法和具有薄膜晶体管的平板显示器。在一个方面中，该TFT包括基板和形成在基板上的有源层，其中，有源层由氧化物半导体形成，并且其中，有源层包括两个相对侧。TFT还包括形成在有源层的相对侧处的源极区和漏极区、形成在有源层上的第一绝缘层、形成在有源层上的栅电极、形成为覆盖第一绝缘层和栅电极的第二绝缘层、以及形成在源极区和漏极区上并且接触第二绝缘层的第一导电层。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 制造 方法 具有 平板 显示器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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