[发明专利]基于推挽式气浮解耦装置的三分量标准振动台有效
| 申请号： | 201510019591.1 | 申请日： | 2015-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN104614138B | 公开（公告）日： | 2017-05-24 |
| 发明（设计）人： | 何闻;张旭飞;王春宇;贾叔仕;周杰 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01M7/06 | 分类号： | G01M7/06;G01H17/00 |
| 代理公司： | 杭州千克知识产权代理有限公司33246 | 代理人： | 黄芳 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 基于推挽式气浮解耦装置的三分量标准振动台，包括底座和设置于底座上的一对X轴向振动台，一对Y轴向振动台，一个Z轴向振动台和三维振动平台，两个X轴向振动台对称设置于三维振动平台两侧，两个Y轴向振动台对称设置于三维振动平台两侧，X轴向振动台与Y轴向振动台的运动方向正交；每个振动台分别通过各自的运动解耦装置与三维振动平台连接，运动解耦装置一端与对应的振动台固定连接，另一端与三维振动平台之间具有能够形成气膜的间隙；两个X轴向振动台的振动方向和振动频率相同；两个Y轴向振动台的振动方向和振动频率相同。本发明具有推动力由两个振动台交替提供，减轻了单个振动台对负载进行驱动的负担的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 推挽式气浮解耦 装置 分量 标准 振动 | ||
【主权项】：
基于推挽式气浮解耦装置的三分量标准振动台，其特征在于：包括底座和设置于底座上的一对X轴向振动台，一对Y轴向振动台，一个Z轴向振动台和三维振动平台，两个X轴向振动台对称设置于三维振动平台两侧，两个Y轴向振动台对称设置于三维振动平台两侧，X轴向振动台与Y轴向振动台的运动方向正交；每个振动台分别通过各自的运动解耦装置与三维振动平台连接，运动解耦装置一端与对应的振动台固定连接，另一端与三维振动平台之间具有能够形成气膜的间隙；两个X轴向振动台的振动方向和振动频率相同；两个Y轴向振动台的振动方向和振动频率相同；Z轴向运动解耦装置包括基体和气浮板，基体中有气浮腔，气浮板放置于气浮腔中并与气浮腔间隙配合；气浮板上固定有连接杆，连接杆与三维振动平台固定；气浮板上均匀分布有形成气浮板上表面的上气膜的上节流气孔和形成气浮板下表面的下气膜的下节流气孔；气浮板上设有与气源连通的供气通道，基体上设有气源接口。
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