[发明专利]一种多DMD拼接的曝光系统及方法有效
| 申请号： | 201510019956.0 | 申请日： | 2015-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN104516216A | 公开（公告）日： | 2015-04-15 |
| 发明（设计）人： | 黄新栋;王旭 | 申请（专利权）人： | 厦门理工学院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 巫丽青 |
| 地址： | 361000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及DMD器件成像曝光领域，一种多DMD拼接的曝光系统和方法，该系统包括主机、核心控制板、多个DMD驱动板和DMD芯片，所述的主机与核心控制板通过USB线缆相连，核心控制板和DMD驱动板间通过并行总线相连，DMD芯片与DMD驱动板相连，通过设置一核心控制板将图片进行分割，并经高速并行接口连接多个DMD驱动板，驱动多个DMD实现同步翻转，对分割后的子图像进行同步翻转曝光，进而满足大尺寸的二值图像曝光。本发明的方法，通过对图像进行分割，并同时对分割后的子图像进行同步翻转曝光，进而满足大尺寸的二值图像曝光。通过本发明方法，能够精确控制曝光时间以及9个DMD同步曝光，保证了微镜像素曝光时间的一致性和曝光的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 dmd 拼接 曝光 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种多DMD拼接的曝光系统，其特征在于：包括主机、核心控制板、多个DMD驱动板和DMD芯片，所述的主机与核心控制板通过USB线缆相连，核心控制板和DMD驱动板间通过并行总线相连，DMD芯片与DMD驱动板相连，所述主机用于将二值图像分割成多个子图像，并对每个子图像进行编号，并依序将子图像通过USB线缆发送至核心控制板，所述核心控制板用于接收子图像，并根据编号将子图像通过并行总线同步发送至多个DMD驱动板，所述DMD驱动板根据编号接收子图像，并驱动DMD芯片对子图像进行同步翻转，实现投影曝光。
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