[发明专利]一种金刚石肖特基二极管及其制作方法在审
| 申请号： | 201510023353.8 | 申请日： | 2015-01-17 |
| 公开（公告）号： | CN104617159A | 公开（公告）日： | 2015-05-13 |
| 发明（设计）人： | 王宏兴;胡超;王玮;张景文;卜忍安;侯洵 | 申请（专利权）人： | 王宏兴 |
| 主分类号： | H01L29/872 | 分类号： | H01L29/872;H01L29/16;H01L21/329 |
| 代理公司： | 陕西增瑞律师事务所 61219 | 代理人： | 张瑞琪 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了提供一种金刚石肖特基二极管及其制作方法，该金刚石肖特基二极管，包括依次层叠设置的欧姆电极、P型高掺杂金刚石衬底、漂移层和肖特基电极，肖特基电极为单一铪层结构、或包括底层为单一铪层的多个单一金属层的复合层结构。该方法制作的金刚石肖特基二极管，提高了耐电压，降低了反向漏电流，改善了金刚石肖特基二极管的反向性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 金刚石 肖特基 二极管 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种金刚石肖特基二极管，其特征在于，包括依次层叠设置的欧姆电极(1)、P型高掺杂金刚石衬底(2)、漂移层(3)和肖特基电极(4)，所述肖特基电极(4)为单一铪层结构、或底层为单一铪层的多个单一金属层的复合层结构。
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