[发明专利]耐蚀刻光阻组合物有效
| 申请号： | 201510026569.X | 申请日： | 2015-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN104804644B | 公开（公告）日： | 2017-06-09 |
| 发明（设计）人： | 林佑忠;罗云山 | 申请（专利权）人： | 达兴材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C09D193/04 | 分类号： | C09D193/04;C09D161/06;C09D7/12 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人： | 秦剑 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种耐蚀刻光阻组合物，包含碱可溶树脂以及一或多数个分散于该碱可溶树脂中的无机材料。该碱可溶树脂是选自于松香树脂、经改质松香树脂、酚醛树脂或前述的一组合。每一无机材料具有片状外型、≦2的莫氏硬度及0.5至2μm的一次颗粒尺寸范围，该无机材料的团聚体是分散至1至10μm的细度范围。本发明耐蚀刻光阻组合物通过添加无机材料而有效阻挡酸的蚀刻，同时可保护基材。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
一种耐蚀刻光阻组合物，包含：碱可溶树脂，选自于松香树脂、经改质松香树脂、酚醛树脂或前述的一组合；以及一或多数个分散于该碱可溶树脂中的无机材料，其中，每一无机材料具有片状外型、≤ 2的莫氏硬度及0.5至2μm的一次颗粒尺寸范围，其中，该无机材料的团聚体是分散至1至10μm的细度范围。
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