[发明专利]连续剪切干涉测量方法在审
申请号: | 201510035268.3 | 申请日: | 2015-01-23 |
公开(公告)号: | CN104567721A | 公开(公告)日: | 2015-04-29 |
发明(设计)人: | 马康;谢惠民 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B11/26 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 张大威 |
地址: | 100084 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种连续剪切干涉测量方法,包括以下步骤:通过CGS的方法设置光路;在第一光栅和第二光栅之间设置旋转台;在旋转台之上设置预设厚度和折射率的透明介质薄片;确定每次旋转角度,并控制透明介质薄片旋转三次以保证每次相移步进量为π/2;获取透明介质薄片旋转之前的第一图像,并获取透明介质薄片每次旋转之后的第二图像至第四图像;按照四步移相原理式对图像进行灰度运算以获取包裹相位场;进行解包裹以获取形貌、曲率和梯度场。本发明实施例的方法,通过在旋转台上设置一定厚度和折射率的透明介质薄片并控制薄片旋转,从而根据旋转之前与之后的图像按照四步移相原理式获取包裹相位场,并且进行解包裹,实现条纹图的自动处理。 | ||
搜索关键词: | 连续 剪切 干涉 测量方法 | ||
【主权项】:
一种连续剪切干涉测量方法,其特征在于,包括以下步骤:通过相干梯度敏感干涉方法CGS的方法设置光路,其中,所述光路包括第一光栅、第二光栅、透镜和光屏;在所述第一光栅和第二光栅之间设置旋转台;在所述旋转台之上设置预设厚度和折射率的透明介质薄片;根据旋转角与相移量的定量关系确定每次旋转角度,并根据所述旋转角度控制所述透明介质薄片旋转三次以保证每次相移步进量为π/2;获取所述透明介质薄片旋转之前的第一图像,并获取所述透明介质薄片每次旋转之后的第二图像至第四图像;按照四步移相原理式对所述第一图像至第四图像进行灰度运算以获取包裹相位场;以及进行解包裹以获取形貌、曲率和梯度场。
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