[发明专利]外延片磨边设备

摘要

本发明提供了一种外延片磨边设备，该外延片磨边设备包括承载外延片的承载装置，所述承载装置具有电机和吸盘；进行打磨操作的磨削装置；以及控制磨削装置升降的升降装置；其中，所述磨削装置包括砂轮、驱动砂轮旋转的主轴电机以及支承所述主轴电机的壳体，所述主轴电机可枢转地连接到所述壳体，在磨边操作过程中，所述砂轮压靠在置于所述吸盘上的外延片的边缘上，所述主轴电机的转动轴线与承载装置的旋转电机的转动轴线之间的角度在磨边操作过程中随着主轴电机的枢转而变化。此外，采用根据本发明的外延片磨边设备，不用找定位边即可实现圆周边及定位边边缘的磨削。

主权项

一种外延片磨边设备，所述外延片磨边设备包括：承载外延片的承载装置，所述承载装置具有旋转电机和吸盘，所述吸盘通过所述旋转电机的驱动而作旋转运动，所述外延片保持在所述吸盘上随所述吸盘转动；进行磨边操作的磨削装置；以及控制磨削装置升降的升降装置；其特征在于，所述磨削装置包括砂轮、驱动砂轮旋转的主轴电机以及支承所述主轴电机的壳体，所述主轴电机可枢转地并且通过弹簧施力机构连接到所述壳体，其中所述弹簧施力机构提供砂轮相对外延片的压紧力，在磨边操作过程中，所述砂轮压靠在置于所述吸盘上的外延片的边缘上，所述主轴电机的转动轴线与承载装置的所述旋转电机的转动轴线彼此倾斜形成一角度，所述角度在磨边操作过程中随着所述主轴电机相对于所述壳体的枢转而变化。