[发明专利]检测底片误差的方法及其系统有效
| 申请号： | 201510040461.6 | 申请日： | 2015-01-27 |
| 公开（公告）号： | CN105988293B | 公开（公告）日： | 2018-09-21 |
| 发明（设计）人： | 徐嘉伟;王啓毓 | 申请（专利权）人： | 志圣工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 张雅军 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种检测底片误差的方法，其包含：一提供步骤，一配置步骤，及一检测步骤。该提供步骤提供一层设置于一个曝光装置上且具有至少四个定位符号的透光基板，及一层具有至少四个相对应所述定位符号的对位符号的底片。该配置步骤将该底片设置于该透光基板上。该检测步骤量测所述定位符号与所述对位符号的偏移量，得到该底片的误差值。本发明还提供执行上述方法的系统。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 底片 误差 方法 及其 系统 | ||
【主权项】：
1.一种检测底片误差的方法，其特征在于：包含一提供步骤，一配置步骤，及一检测步骤，该提供步骤是提供一装设于一曝光装置的透光基板，及一底片，该透光基板具有至少四个位置彼此相对且具有预设间距的定位符号，该底片具有一成预定线路图案的线路区，及至少四个与该预定线路图案于同一制程形成，并位于该线路区外的对位符号，该透光基板及该底片各自具有一对位点，且所述对位符号的位置与所述定位符号相对应；该配置步骤是利用该透光基板及该底片的对位点对位，将该底片定位于该透光基板上，并令所述定位符号与所述对位符号各自对应；该检测步骤是量测所述定位符号与所述对位符号的偏移量，得到该底片的误差值。
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