[发明专利]一种大尺寸钼铌靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201510045717.2 | 申请日： | 2015-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN104561915A | 公开（公告）日： | 2015-04-29 |
| 发明（设计）人： | 侯庆龙;邱春霞;豆帆;朱洪维;刘海燕 | 申请（专利权）人： | 烟台希尔德新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/18;B22F9/04 |
| 代理公司： | 烟台双联专利事务所(普通合伙) 37225 | 代理人： | 梁翠荣 |
| 地址： | 264006 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大尺寸钼铌靶材的制备方法，采用独特的球磨工艺，球磨机内衬材料与磨球均为钼或铌为母体的合金，引入的杂质很少，可保证靶材的高纯度；经球磨、真空烧结使粉末粒度均匀，烧结组织均匀，包套处理防止了钼铌靶材氧化或者氢化而生成脆性相，保证了钼铌合金的可塑性，解决了低成本大尺寸钼铌靶材的难题。本发明的效果和益处是在制造成本、产品性能、规模化生产和环境友好等方面都展现出显著的竞争优势和利润空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 钼铌靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种大尺寸钼铌靶材的制备方法，其特征在于，按照下述步骤完成：1）把钼粉和铌粉按照重量比1:2~2:1加入球磨机中球磨混合；所述球磨机内衬及磨球采用铌碳硬质合金；2）继续添加钼粉，使钼粉和铌粉的重量比达到9:1，然后在V型混料机中进行混合；3）将混合好的钼粉和铌粉冷等静压成型，得钼铌坯；4）将钼铌坯进行高温烧结；5）烧结后的钼铌坯包裹不锈钢包套，抽气体密封处理，加热至1300℃~1400℃进行轧制，然后900℃真空热处理3h，最后机加工为钼铌靶材产品；所采用的钼粉平均粒度为1μm~5μm，所采用的铌粉平均粒度为30μm ~100μm。
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