[发明专利]有机材料的双向真空升华提纯设备及连续或非连续提纯法有效
申请号: | 201510046229.3 | 申请日: | 2015-01-29 |
公开(公告)号: | CN104667562B | 公开(公告)日: | 2017-02-22 |
发明(设计)人: | 穆广园;王磊 | 申请(专利权)人: | 武汉尚赛光电科技有限公司 |
主分类号: | B01D7/00 | 分类号: | B01D7/00 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司11212 | 代理人: | 杨立 |
地址: | 430075 湖北省*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明涉及有机材料的提纯设备技术领域,尤其涉及一种有机材料双向真空升华提纯设备及连续或非连续提纯方法,属于物理气相沉积技术领域。该设备包括真空腔体、抽真空装置和冷却装置,在真空腔体内设置有阀门,和两端开口的石英管组件。石英管组件包括串联的收集段和加热段时,可进行升华提纯。石英管组件包括依次串联的粗升华槽、过渡槽和深度升华槽,可进行连续升华提纯。本发明所提供的有机材料连续双向真空升华提纯设备结构简单、易于操作、高效,有效的节省时间的情况下提高有机材料的纯度。连续或非连续的提纯方法均可以显著提高的提纯纯度。 | ||
搜索关键词: | 有机 材料 双向 真空 升华 提纯 设备 连续 | ||
【主权项】:
一种有机材料的双向真空升华提纯设备,其特征在于,包括真空腔体(1)、抽真空装置(2)和冷却装置(6),在所述真空腔体(1)的两端分别设置有第一阀门(4)和第二阀门(5),在所述真空腔体(1)内设置有两端开口的石英管组件(3);所述抽真空装置(2)串联所述冷却装置(6),所述冷却装置(6)串联所述第一阀门(4),所述石英管组件(3)的一开口端靠近所述第一阀门(4);所述抽真空装置(2)串联所述冷却装置(6),所述冷却装置(6)串联所述第二阀门(5),所述石英管组件(3)的另一开口端靠近所述第二阀门(5),其中:所述石英管组件(3)包括串联的收集段(31)和加热段(32),所述收集段(31)位于靠近所述第一阀门(4)的一侧,所述加热段(32)位于靠近所述第二阀门(5)的一侧;或者所述石英管组件(3)包括依次串联的深度升华槽(33)、过渡槽(34)和粗升华槽(35),所述深度升华槽(33)位于靠近所述第一阀门(4)的一侧,所述粗升华槽(35)位于靠近所述第二阀门(5)的一侧。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于武汉尚赛光电科技有限公司,未经武汉尚赛光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201510046229.3/,转载请声明来源钻瓜专利网。