[发明专利]旋光计量方法及旋光计量装置在审
| 申请号： | 201510046529.1 | 申请日： | 2015-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN104819939A | 公开（公告）日： | 2015-08-05 |
| 发明（设计）人： | 池田阳;西田和弘 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/45;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 余刚;吴孟秋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种旋光计量方法及旋光计量装置。抑制由于反射光在与计量光的入射方向相同的方向上反射而使旋光相抵消的情况。此外，精度良好地计量旋光。构成的旋光计量方法包括：对被检测体以非直角的入射方向入射规定偏光的计量光；辨别来自上述被检测体的、与上述入射方向不同的方向的反射光中的上述规定偏光的旋光反映成分；以及基于上述辨别的结果计量旋光。 | ||
| 搜索关键词： | 计量 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种旋光计量方法，其特征在于，包括：对被检测体以非直角的入射方向入射规定偏光的计量光；辨别来自所述被检测体的、与所述入射方向不同的方向的反射光中的所述规定偏光的旋光反映成分；以及基于所述辨别的结果对旋光进行计量。
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