[发明专利]基于分节PSD的差动式振动加速度传感器

摘要

本发明公开了一种基于分节PSD的差动式振动加速度传感器，由基座，封装外壳，半导体激光器，分光棱镜，夹具，参考镜，弹性材料块，预压弹簧，螺钉，分节PSD1,分节PSD2,测量镜，质量块，固定孔组成。半导体激光器发出的激光经分光棱镜产生相互垂直的入射光分别入射到参考镜和测量镜，再分别反射到分节PSD1,分节PSD2光敏面上；有振动时测量镜反射光斑将偏离PSD1中点，形成基于分节PSD1和分节PSD2的差动测量结构，通过参考镜与测量镜反射光斑位置偏移量之差来测量振动加速度的大小，该发明灵敏度高、工作温度范围宽和配置电路简单，具有良好的应用前景。

主权项

基于分节PSD的差动式振动加速度传感器，由基座（1），封装外壳（2），半导体激光器（3），分光棱镜（4），夹具（5），参考镜（6），弹性材料块（7），预压弹簧（8），螺钉（9），分节PSD1（10）,分节PSD2（11）,测量镜（12），质量块（13），固定孔（14）组成，其特征在于：半导体激光器（3）固定在封装外壳（2）左下角，分光棱镜（4）通过夹具（5）置于封装外壳（2）内左中部，分光棱镜（4）的入射面与入射激光垂直，质量块（13）通过上表面两侧的螺钉（9）、预压弹簧（8）与弹性材料块（7）刚性连接，质量块（13）上表面正中间用UV胶固定测量镜（12），参考镜（6）通过上表面两侧的螺钉（9）、预压弹簧（8）与弹性材料块（7）刚性连接，并置于封装外壳（2）顶部正对测量镜（12）位置，经分光棱镜（4）产生的相互垂直的入射光分别入射到参考镜（6）和测量镜（12），分节PSD1（10）和分节PSD2（11）置于封装外壳（2）内右面壁中上位置，无振动时参考镜（6）反射光斑入射到分节PSD2（11）中点，测量镜（12）反射光斑入射到PSD1（10）中点，基座（1）通过固定孔（14）安装在设备外壳上。