[发明专利]III族氮化物基增强模式晶体管有效
| 申请号： | 201510048389.1 | 申请日： | 2015-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN104821331B | 公开（公告）日： | 2018-08-17 |
| 发明（设计）人： | O.赫贝伦;C.奥斯特迈尔;G.普雷希特尔 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技奥地利有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L29/06 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 申屠伟进;徐红燕 |
| 地址： | 奥地利*** | 国省代码： | 奥地利;AT |
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| 摘要： | 本发明涉及III族氮化物基增强模式晶体管。III族氮化物基增强模式晶体管包含异质结鳍片结构。异质结鳍片结构的侧面和顶面被p型III族氮化物层覆盖。 | ||
| 搜索关键词： | iii 氮化物 增强 模式 晶体管 | ||
【主权项】：
1.一种III族氮化物基增强模式晶体管，包括异质结鳍片结构，其中异质结鳍片结构的侧面和顶面被p型III族氮化物层覆盖，并且其中异质结鳍片结构具有与p型III族氮化物层的长度对应的长度。
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