[发明专利]物理量传感器、高度计、电子设备和移动体

摘要

本发明提供物理量传感器、高度计、电子设备和移动体。该物理量传感器能够降低因热膨胀而引起的膜片的意外变形，该高度计、电子设备和移动体具备该物理量传感器，且可靠性高。物理量传感器(1)具有：基板(2)，其具有膜片(24)；传感器元件(3)，其配置在膜片(24)上；壁部(5)，其配置在基板(2)上并具有包围传感器元件(3)的空腔部(7)；覆盖部(6)，其与壁部(5)相连；以及加强部(8)，其配置成与覆盖部(6)的一部分重叠，并含有热膨胀系数比覆盖部(6)的构成材料小的材料。

主权项

一种物理量传感器，其特征在于，所述物理量传感器具有：基板，其具有能够挠曲变形的膜片；传感器元件，其配置在所述基板的所述膜片上；壁部，其配置在所述基板上，并且在俯视所述基板时所述壁部包围所述传感器元件；覆盖部，在俯视所述基板时，所述覆盖部的一部分与所述传感器元件重叠，并且所述覆盖部与所述壁部连接；以及加强部，在俯视所述基板时，所述加强部与所述覆盖部的一部分重叠，并且所述加强部含有热膨胀系数比所述覆盖部的构成材料小的材料。