[发明专利]一种加速度计的Z轴结构及其生产方法有效
| 申请号： | 201510050419.2 | 申请日： | 2015-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN104569491B | 公开（公告）日： | 2017-12-29 |
| 发明（设计）人： | 郑国光 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 马佑平,王昭智 |
| 地址： | 261031 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种加速度计的Z轴结构及其生产方法，包括衬底、固定电极、质量块，在所述衬底的表面上设置有第一锚点，所述固定电极通过其端部连接在第一锚点上，所述固定电极通过第一锚点悬置在衬底上；在所述衬底的表面上还设置有中间锚点，所述质量块通过中间锚点悬置在固定电极的上方，在所述质量块、固定电极上设置有多个通孔。本发明的Z轴结构，固定电极通过第一锚点与衬底连接，使得固定电极与衬底之间具有一定的间隙，这就将衬底到固定电极的形变传输通道切断，减小了固定电极与衬底之间的接触面积，可以有效避免由于外界应力和温度变化引起的衬底的形变传到固定电极上，大大降低了Z轴结构的零点漂移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 加速度计 结构 及其 生产 方法 | ||
【主权项】：
一种加速度计的Z轴结构，其特征在于：包括衬底(1)、固定电极(2)、质量块(3)，在所述衬底(1)的表面上设置有第一锚点(20)，所述固定电极(2)通过其端部连接在第一锚点(20)上，所述固定电极(2)通过第一锚点(20)悬置在衬底(1)上；在所述衬底(1)的表面上还设置有中间锚点(4)，所述质量块(3)通过中间锚点(4)悬置在固定电极(2)的上方，在所述质量块(3)、固定电极(2)上设置有多个通孔(6)。
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