[发明专利]一种紫外线固化掩膜板及其制作方法和显示装置有效
申请号: | 201510053834.3 | 申请日: | 2015-02-02 |
公开(公告)号: | CN104614948B | 公开(公告)日: | 2018-01-23 |
发明(设计)人: | 张小祥;刘正;郭总杰;张治超;刘明悬;陈曦 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G03F1/38 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明的实施例提供一种紫外线固化掩膜板及其制作方法和显示装置,涉及显示技术领域,解决了现有的封框胶固化时需要的紫外线掩膜板的制作需要多次进行成膜、曝光和刻蚀工艺的问题,降低了生产成本,减少了工艺流程,降低了复杂度。所述紫外线固化掩膜板包括衬底基板,待固化膜层的面板上具有对位标识和选择标识,所述紫外线固化掩膜板还包括掩膜层,其中所述掩膜层设置在所述衬底基板上,且与所述对位标识、选择标识和待固化的封框胶未覆盖区域对应的位置;所述掩膜层的材料为具有阻挡紫外光作用的材料。本发明应用于掩膜板制作工艺中。 | ||
搜索关键词: | 一种 紫外线 固化 掩膜板 及其 制作方法 显示装置 | ||
【主权项】:
一种紫外线固化掩膜板的制作方法,其特征在于,所述方法包括:提供一衬底基板;通过一次构图工艺在所述衬底基板上形成掩膜层的图形;其中,所述掩膜层的材料为具有阻挡紫外光作用的材料;待固化膜层的面板上具有对位标识和选择标识,所述通过一次构图工艺在所述衬底基板上形成掩膜层的图形,包括:在所述衬底基板上形成掩膜层材料薄膜;通过一次构图工艺处理所述掩膜层材料薄膜,形成为第一掩膜层图形;其中,所述第一掩膜层图形为所述掩膜层上具有与所述对位标识和所述选择标识对应的图形;处理所述第一掩膜层图形,形成与所述待固化膜层未覆盖区域对应的掩膜层图形。
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