[发明专利]提高测试准确性的测试装置及测试方法有效

专利信息
申请号: 201510053883.7 申请日: 2015-01-31
公开(公告)号: CN104635142B 公开(公告)日: 2018-06-01
发明(设计)人: 钱亮;索鑫 申请(专利权)人: 上海华虹宏力半导体制造有限公司
主分类号: G01R31/28 分类号: G01R31/28
代理公司: 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人: 郑玮
地址: 201203 上海市浦东*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明提出了一种提高测试准确性的测试装置及测试方法,通过在测试通道添加一个控制器,再在待测芯片两端分别添加电源开关及测试通道开关,控制器可控制测试通道开关的关闭和断开,还可通过寄存器分别控制电源开关的闭合和断开,从而拓展了测试通道的能力,能够实现在不增加额外测试通道的前提下,分别检测待测芯片的电流,并排除多芯片共电源测试方法的弊端,避免因为一个芯片的漏电而造成整体电源波动,影响对其他待测芯片的正常测试,从而提高测试准确度。
搜索关键词: 测试通道 待测芯片 测试 测试准确性 测试装置 控制器 断开 控制电源开关 测试准确度 闭合 漏电 电源开关 整体电源 多芯片 共电源 寄存器 可控制 芯片 检测 拓展
【主权项】:
1.一种提高测试准确性的测试方法,使用测试机台对待测芯片进行测试,其特征在于,采用的测试装置包括:若干个电源开关、若干个测试通道开关、若干个寄存器及控制器,其中,所述测试机台的具有多个电源及测试通道,一个待测芯片通过一个电源开关和一个测试通道开关分别与所述电源和测试通道相连,所述测试通道与所述控制器相连,所述寄存器与所述控制器相连,所述寄存器控制所述电源开关的断开和闭合,所述控制器控制所述测试通道开关的断开和闭合;包括步骤:闭合一个电源下所有的电源开关,断开所有的测试通道开关,所述测试通道控制控制器;测量一个电源下所有芯片的电流值;若电流值大于等于最大电流,则由控制器分别控制寄存器,分别闭合一个电源下的电源开关,逐一测量出每个芯片的电流值,找出存在漏电的芯片;所述寄存器控制与存在漏电的芯片相连的电源开关处于断开状态之后,再由所述控制器控制所有的测试通道开关闭合,由所述测试通道对所述待测芯片进行测试,从而拓展了测试通道的能力。
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