[发明专利]玻璃镀膜工艺电源配置自动识别系统及方法有效
申请号: | 201510054815.2 | 申请日: | 2015-01-30 |
公开(公告)号: | CN104749975B | 公开(公告)日: | 2017-12-01 |
发明(设计)人: | 孙勇;郝向东;杨雪来 | 申请(专利权)人: | 深圳达实智能股份有限公司 |
主分类号: | G05B19/04 | 分类号: | G05B19/04 |
代理公司: | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙)44314 | 代理人: | 张约宗,张秋红 |
地址: | 518057 广东省深圳市南山*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种玻璃镀膜工艺电源配置自动识别系统及方法。该系统包括至少一个电源、至少一个靶材、以及一个控制箱从站、以及与至少一个控制箱从站相连的主控处理器,每一控制箱从站与一靶材对应设置;电源包括电源输出线,其一端设有多芯工业插,电源预设电源编码;控制箱从站包括与多芯工业插配合的阴极位,用于采集靶材的阴极井位状态信息并接收电源编码,将阴极井位状态信息和电源编码发送至主控处理器;主控处理器判断阴极井位状态信息是否符合预设加电条件,若是,则向与阴极井位状态信息关联的电源编码对应的电源发送加电条件信号,控制电源对靶材加电。本发明无需进行人工配置靶材和电源,节省人工成本和时间成本,提高镀膜工序的效率。 | ||
搜索关键词: | 玻璃 镀膜 工艺 电源 配置 自动识别 系统 方法 | ||
【主权项】:
一种玻璃镀膜工艺电源配置自动识别系统,其特征在于,包括至少一个电源(10)、至少一个靶材(40)、以及至少一个控制箱从站(20)、以及主控处理器(30),所述主控处理器(30)与所述至少一个控制箱从站(20)相连,每一所述控制箱从站(20)与一靶材(40)对应设置;所述至少一个电源(10)包括电源输出线,所述电源输出线一端设有多芯工业插(11);所述电源(10)预设一用于识别所述电源(10)的电源编码,并根据所述电源编码给所述多芯工业插(11)每一针脚配置对应的编码;所述控制箱从站(20)包括与所述多芯工业插(11)配合的阴极位,所述控制箱从站(20)用于采集所述靶材(40)的阴极井位状态信息并接收插入所述阴极位上的所述多芯工业插(11)的电源编码,并将所述阴极井位状态信息和所述电源编码发送至所述主控处理器(30),所述阴极井位状态信息与所述电源编码关联;所述阴极井位状态信息包括旋转靶状态、真空条件及冷却水状态;所述主控处理器(30)用于判断所述阴极井位状态信息是否符合预设加电条件,若是,则向与所述阴极井位状态信息关联的电源编码对应的电源(10)发送加电条件信号,以控制所述电源(10)依据所述加电条件信号对所述靶材(40)加电。
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