[发明专利]基于三相磨粒流的超光滑表面精密流体圆盘抛光装置有效
申请号: | 201510056821.1 | 申请日: | 2015-02-03 |
公开(公告)号: | CN104786128B | 公开(公告)日: | 2017-03-15 |
发明(设计)人: | 计时鸣;谭云峰;葛江勤;谭大鹏;赵军 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | B24B29/02 | 分类号: | B24B29/02 |
代理公司: | 杭州浙科专利事务所(普通合伙)33213 | 代理人: | 吴秉中 |
地址: | 310014 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明公开了一种基于三相磨粒流的超光滑表面流体精密圆盘抛光装置,包括圆盘形抛光工具和工件装夹台,被加工工件装夹在工件装夹台上,圆盘形抛光工具固定安装在工件装夹台的正上方且与被加工工件的上表面形成大面积的微距缝隙;圆盘形抛光工具设有内腔,圆盘形抛光工具的顶面设有与上述内腔连通的磨粒注入通道;圆盘形抛光工具的侧面设有对称分布的抛光液注入孔通道,抛光液注入孔通道与上述内腔连通并用于向上述内腔中注入抛光液;圆盘形抛光工具的内腔侧面还设有微尺寸气泡发生器。通过气液固的三相磨粒流形成高速湍流涡旋,大幅度提高了气液固三相磨粒流中抛光磨粒的运动速度,进而提升了圆盘形抛光工具对被加工工件的加工效率。 | ||
搜索关键词: | 基于 三相 磨粒流 光滑 表面 精密 流体 圆盘 抛光 装置 | ||
【主权项】:
基于三相磨粒流的超光滑表面流体精密圆盘抛光装置,其特征在于:包括圆盘形抛光工具(1)和工件装夹台(7),被加工工件(6)装夹在工件装夹台(7)上,圆盘形抛光工具(1)固定安装在工件装夹台(7)的正上方,所述圆盘形抛光工具(1)与被加工工件(6)的上表面形成大面积的微距缝隙;所述圆盘形抛光工具(1)设有内腔,所述圆盘形抛光工具(1)的顶面设有与上述内腔连通的用于注入抛光磨粒的磨粒注入通道(4);所述圆盘形抛光工具(1)的侧面设有对称分布的抛光液注入孔通道(3),所述抛光液注入孔通道(3)与上述内腔连通并用于向上述内腔中注入抛光液;所述圆盘形抛光工具(1)的内腔侧面还设有微尺寸气泡发生器(5)。
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