[发明专利]有机发光二极管器件及其制作方法和蒸镀设备

摘要

本发明提供了一种有机发光二极管器件，在所述器件的阴极与发光层之间包括至少两层电子传输层，且从阴极至发光层不同电子传输层的能垒依次增大。本发明还提供了一种蒸镀设备和有机发光二极管器件制作方法，利用上述蒸镀设备蒸镀形成上述有机发光二极管器件中的电子传输层。本发明的有机发光二极管器件提高了有机发光二极管器件的发光效率，蒸镀设备能够方便实现同一蒸镀腔室内不同蒸镀速率的快速切换。

主权项

一种蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀设备包括第一蒸镀材料装填腔、第一蒸镀材料喷嘴、第一速率控制网板、第二蒸镀材料装填腔、第二蒸镀材料喷嘴以及第二速率控制网板；所述第一速率控制网板设置于连通的所述第一蒸镀材料装填腔与所述第一蒸镀材料喷嘴之间，用于控制单位时间从所述第一蒸镀材料装填腔透过其到达所述第一蒸镀材料喷嘴的第一蒸镀材料的数量而控制所述第一蒸镀材料的第一蒸镀速率，包括相连的至少两种蒸镀速率不同的第一速率控制子网板；所述第一速率控制网板可以相对所述第一蒸镀材料喷嘴移动，以切换与所述第一蒸镀材料喷嘴对准的所述第一速率控制子网板的种类，不同种的第一速率控制子网板间隔交替排布，相同种的第一速率控制子网板之间的距离等于相邻的所述第一蒸镀材料喷嘴之间的距离；所述第二速率控制网板设置于连通的所述第二蒸镀材料装填腔与所述第二蒸镀材料喷嘴之间，用于控制单位时间从所述第二蒸镀材料装填腔透过其到达所述第二蒸镀材料喷嘴的第二蒸镀材料的数量而控制所述第二蒸镀材料的第二蒸镀速率，包括相连的至少两种蒸镀速率不同的第二速率控制子网板；所述第二速率控制网板可以相对所述第二蒸镀材料喷嘴移动，以切换与所述第二蒸镀材料喷嘴对准的所述第二速率控制子网板的种类，不同种的第二速率控制子网板间隔交替排布，相同种的第二速率控制子网板之间的距离等于相邻的所述第二蒸镀材料喷嘴之间的距离；所述第二蒸镀材料装填腔与所述第一蒸镀材料装填腔不连通，所述第二蒸镀材料喷嘴与所述第一蒸镀材料喷嘴不连通。