[发明专利]用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜

摘要

本发明涉及一种用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜，其包括外围框架、设置在外围框架内的内框架、连接外围框架和内框架的竖直扫描扭转梁、设置在内框架内的微反射镜及一对磁体，外围框架具有悬臂，内框架通过竖直扫描扭转梁连接至外围框架的悬臂上，悬臂上设置有悬臂驱动线圈，内框架上设置有内框架驱动线圈，一对磁体分别相对设置在悬臂的两侧，磁体所产生的磁感线垂直于悬臂驱动线圈、内框架驱动线圈通电后的电流方向，该微镜实现两个方向扫描的两组驱动线圈独立控制，降低两个方向间的相互干扰，容易获得较大的扭转角度，另外可提高磁场利用率，简化了驱动方案。

主权项

一种用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜，其特征在于：包括外围框架，设置在外围框架内的内框架、连接外围框架和内框架的竖直扫描扭转梁、设置在所述内框架内的微反射镜及一对磁体，所述外围框架具有悬臂，所述内框架通过竖直扫描扭转梁连接至外围框架的悬臂上，所述悬臂上设置有悬臂驱动线圈，所述内框架上设置有内框架驱动线圈，所述一对磁体分别相对设置在悬臂的两侧，所述磁体所产生的磁感线垂直于悬臂驱动线圈、内框架驱动线圈通电后的电流方向，所述微反射镜与内框架为分体设置，所述用于激光扫描显示的电磁驱动二维扫描微镜还包括将所述微反射镜固定在内框架上的水平扫描扭转梁，所述悬臂通过振动波驱动内侧微反射镜做谐振扭转。