[发明专利]保持工作台

摘要

本发明提供一种保持工作台，在器件区域的周围形成有环状加强部的晶片中，能够稳定地去除环状加强部，而不会使器件区域变窄。保持工作台(5)保持晶片(W)，在该晶片的正面形成有器件区域(83)和外周剩余区域(84)，在器件区域中形成有多个器件，外周剩余区域围绕该器件区域，在晶片的与外周剩余区域对应的背面上形成有环状加强部(85)，保持工作台(5)形成为这样的结构：在保持工作台的上表面，在与环状加强部和器件区域的边界部(86)相对应的位置形成有用于使激光光线逸散的环状的逸散槽(53)，在逸散槽的槽底(54)以锥形状形成有使激光光线散射的微细的凹凸。

主权项

1.一种保持工作台，其保持晶片，在所述晶片的正面形成有器件区域和外周剩余区域，在所述器件区域中形成有多个器件，所述外周剩余区域围绕该器件区域，在所述晶片的与该外周剩余区域对应的背面上形成有环状加强部，所述保持工作台的特征在于，在该保持工作台的上表面，在与该环状加强部和该器件区域的边界部相对应的位置形成有用于使激光光线逸散的环状的逸散槽，在该逸散槽的槽底以锥形状形成有使该激光光线散射的微细的凹凸，其中，所述锥形状以朝向所述保持工作台的中心变深的方式倾斜，所述逸散槽的宽度比所述环状加强部的宽度大，所述逸散槽的内侧面从所述环状加强部的内周面向内侧隔开第一距离，所述逸散槽的外侧面从所述环状加强部的外周面向外侧隔开比所述第一距离大的第二距离。