[发明专利]一种阵列基板及其制作方法、显示面板及显示装置有效

专利信息
申请号: 201510059632.X 申请日: 2015-02-05
公开(公告)号: CN104637957B 公开(公告)日: 2018-04-06
发明(设计)人: 陈伟绩;蔡明光;王磊;郑锟泰;赖大琪 申请(专利权)人: 厦门天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1362
代理公司: 北京品源专利代理有限公司11332 代理人: 路凯,胡彬
地址: 361101 福建省厦门*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明公开了一种阵列基板及其制作方法、显示面板和显示装置,其中,所述阵列基板包括基板;位于所述基板上的栅电极、栅极线和金属预置层,所述栅极线与所述金属预置层位于同一层且相互电绝缘;覆盖所述栅电极和栅极线的层间绝缘结构;位于所述层间绝缘结构上的源电极和漏电极;位于所述层间绝缘结构与所述金属预置层上的数据线,所述数据线和所述源电极电连接。本发明能够降低数据线断裂产生暗线的概率,从而提高产品良率,且能够防止显示面板产生显示不均的现象。
搜索关键词: 一种 阵列 及其 制作方法 显示 面板 显示装置
【主权项】:
一种阵列基板,其特征在于,包括:基板;位于所述基板上的栅电极、栅极线和金属预置层,所述栅极线与所述金属预置层位于同一层且相互电绝缘;覆盖所述栅电极和栅极线的层间绝缘结构,所述层间绝缘结构将所述金属预置层裸露出来;位于所述层间绝缘结构上的源电极和漏电极;位于所述层间绝缘结构与所述金属预置层上的数据线,所述数据线和所述源电极电连接;其中,在所述基板与所述栅电极、栅极线和金属预置层之间,还包括:位于所述基板上的缓冲层;位于所述缓冲层上的有源层结构;覆盖所述有源层结构和所述缓冲层的栅极绝缘层;所述栅电极、所述栅极线和所述金属预置层在同一工艺步骤中形成,所述金属预置层设置在所述栅极绝缘层上,且所述栅极绝缘层和所述金属预置层的厚度之和大于所述有源层结构的厚度;所述金属预置层的位置高于所述有源层结构的位置。
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