[发明专利]一种阵列基板及其制作方法、显示面板及显示装置有效
申请号: | 201510059632.X | 申请日: | 2015-02-05 |
公开(公告)号: | CN104637957B | 公开(公告)日: | 2018-04-06 |
发明(设计)人: | 陈伟绩;蔡明光;王磊;郑锟泰;赖大琪 | 申请(专利权)人: | 厦门天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1362 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 路凯,胡彬 |
地址: | 361101 福建省厦门*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本发明公开了一种阵列基板及其制作方法、显示面板和显示装置,其中,所述阵列基板包括基板;位于所述基板上的栅电极、栅极线和金属预置层,所述栅极线与所述金属预置层位于同一层且相互电绝缘;覆盖所述栅电极和栅极线的层间绝缘结构;位于所述层间绝缘结构上的源电极和漏电极;位于所述层间绝缘结构与所述金属预置层上的数据线,所述数据线和所述源电极电连接。本发明能够降低数据线断裂产生暗线的概率,从而提高产品良率,且能够防止显示面板产生显示不均的现象。 | ||
搜索关键词: | 一种 阵列 及其 制作方法 显示 面板 显示装置 | ||
【主权项】:
一种阵列基板,其特征在于,包括:基板;位于所述基板上的栅电极、栅极线和金属预置层,所述栅极线与所述金属预置层位于同一层且相互电绝缘;覆盖所述栅电极和栅极线的层间绝缘结构,所述层间绝缘结构将所述金属预置层裸露出来;位于所述层间绝缘结构上的源电极和漏电极;位于所述层间绝缘结构与所述金属预置层上的数据线,所述数据线和所述源电极电连接;其中,在所述基板与所述栅电极、栅极线和金属预置层之间,还包括:位于所述基板上的缓冲层;位于所述缓冲层上的有源层结构;覆盖所述有源层结构和所述缓冲层的栅极绝缘层;所述栅电极、所述栅极线和所述金属预置层在同一工艺步骤中形成,所述金属预置层设置在所述栅极绝缘层上,且所述栅极绝缘层和所述金属预置层的厚度之和大于所述有源层结构的厚度;所述金属预置层的位置高于所述有源层结构的位置。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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