[发明专利]硅片工装花篮输送系统

摘要

本发明公开一种硅片工装花篮输送系统，包括供工装花篮移动的轨道、沿长度方向设置在所述的轨道内的两条同步移动的输送带，两条所述的输送带相平行，所述的工装花篮的下表面设置有两条支撑筋，两条所述的支撑筋分别落在对应的所述的输送带上，两条所述的输送带之间设置有一支撑板，所述的支撑板上通过横向轴铰接设置有一个跷杆。工装花篮位于目标区域时，跷杆的后端部跷起并抵在后一工装花篮的侧壁上，将后一工装花篮与当前工装花篮隔离开，防止二者碰撞或卡死，而当前工装花篮移走后，将后一工装花篮后退一段距离后重新前进能够顺利到达目标区域，依次循环，逐一输送工装花篮，结构简单、成本，且动作可靠，有助于插片速度的提高。

主权项

一种硅片工装花篮输送系统，其特征在于：包括供工装花篮移动的轨道、沿长度方向设置在所述的轨道内的两条同步移动的输送带，两条所述的输送带相平行，所述的工装花篮的下表面设置有两条支撑筋，两条所述的支撑筋分别落在对应的所述的输送带上，两条所述的输送带之间设置有一支撑板，所述的支撑板上通过横向轴铰接设置有一个跷杆，所述的横向轴的长度方向垂直于所述的工装花篮的移动方向，所述的跷杆包括固定连接的第一杆和第二杆，所述的第一杆与所述的第二杆之间的夹角为钝角，所述的跷杆通过所述的第一杆与所述的第二杆的连接处自由转动地安装在所述的横向轴上，所述的第一杆指向前方，所述的第二杆指向后方，所述的第一杆所受重力相对于所述的横向轴的力矩的绝对值小于所述的第二杆所受重力相对于所述的横向轴的力矩的绝对值，所述的跷杆至少具有第一位置和第二位置，当所述的跷杆处于第一位置时，所述的第二杆跷起；当所述的跷杆处于第二位置时，所述的第二杆沉下；所述的轨道上具有目标区域和等待区域，当前工装花篮位于目标区域、后一工装花篮处于等待区域时，所述的跷杆处于第一位置，所述的第一杆抵在当前工装花篮的下表面，所述的第二杆跷起且后端部抵在后一工装花篮的侧壁上，此时当前工装花篮与后一工装花篮之间具有一段距离；当前工装花篮脱离目标区域时，输送带反向移动一段距离，使所述的跷杆与后一工装花篮相脱离且所述的跷杆处于第二位置。