[发明专利]一种高电离率氧化物阴极等离子体源及其制备方法在审
| 申请号： | 201510066212.4 | 申请日： | 2015-02-04 |
| 公开（公告）号： | CN104733267A | 公开（公告）日： | 2015-06-24 |
| 发明（设计）人： | 谢锦林;胡广海;金晓丽;袁林;张乔枫;杨尚川 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01J1/142 | 分类号： | H01J1/142;H01J9/04 |
| 代理公司： | 无 | 代理人： | 无 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高电离率氧化物阴极等离子体源及其制备方法，它包括下列重量份数的物质：碳酸钡BaCO3 1份，碳酸锶SrCO3 0.6-0.8份，碳酸钙CaCO3 0.05-0.2份，三氧化二钪Sc2O3 0.05-0.2份；所述碳酸钡BaCO3、碳酸锶SrCO3、碳酸钙CaCO3、三氧化二钪Sc2O3的化学纯度皆为99.99％。本发明具有在抑制打火现象发生的同时增加阴极的发射能力的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电离 氧化物 阴极 等离子体 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高电离率氧化物阴极等离子体源，它包括下列重量份数的物质：碳酸钡BaCO31份，碳酸锶SrCO30.6‑0.8份，碳酸钙CaCO30.05‑0.2份，三氧化二钪Sc2O30.05‑0.2份。
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