[发明专利]一种快速换靶单面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机

摘要

本发明公开了一种快速换靶单面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机，属于镀膜设备领域。本发明包括真空室、开卷机构、收卷机构、冷辊、纠偏装置、两个或两个以上的回转换靶装置、以及与每个回转换靶装置位置相对应的两面开口的阴极小室，开卷机构和收卷机构处各设有一组纠偏装置；阴极小室分布于冷辊包覆有基带的圆周面上，且每组回转换靶装置及与其对应的阴极小室均与冷辊设于同一轴线上；开卷机构和收卷机构带动基带实现往复运动。本发明在不打开镀膜真空室的情况下即可及时快速更换阴极靶，并利用基材往复运动实现多层膜层的镀制；一次镀膜行程可以完成多层膜层的镀制，大大提高了镀膜效率，尤其适合于大批量高效率生产。

主权项

一种快速换靶单面往复连续高效镀膜磁控溅射卷绕镀膜机，包括真空室（1）、开卷室（2）、设于开卷室（2）内的开卷机构（201）、收卷室（9）、设于收卷室（9）内的收卷机构（901）和设于真空室（1）内的冷辊（8），其特征在于：还包括纠偏装置（3）、两个以上的回转换靶装置（10）、以及与每个回转换靶装置（10）位置相对应的两面开口的阴极小室（11），所述的开卷室（2）与真空室（1）之间、收卷室（9）与真空室（1）之间均设有闸板阀（4），所述的开卷机构（201）和收卷机构（901）之间的基带（5）经过换向辊（7）换向后包覆在冷辊（8）上，所述的开卷机构（201）和收卷机构（901）处各设有一组纠偏装置（3），且所述的纠偏装置（3）位于开卷室（2）和收卷室（9）内；所述的阴极小室（11）分布于冷辊（8）包覆有基带（5）的圆周面上，且每组回转换靶装置（10）及与其对应的阴极小室（11）均与冷辊（8）设于同一轴线上；所述的回转换靶装置（10）包括机座（1001）、回转盘（1004）、驱动回转盘（1004）转动的回转机构、驱动回转盘（1004）沿轴向伸缩的轴向伸缩机构（1002）、安装于回转盘（1004）上的两个以上的伸缩轴套（1005）、安装于伸缩轴套（1005）上的用于安装靶芯（12）的极靶座板（1006）和安装于机座（1001）上且与阴极小室（11）的开口方向相对的径向伸缩机构（1007），所述的回转盘（1004）为设有内腔的桶状结构，所述的伸缩轴套（1005）安装于回转盘（1004）的侧壁上，当轴向伸缩机构（1002）收缩后，所述的径向伸缩机构（1007）刚好与一个伸缩轴套（1005）相对应，用于将极靶座板（1006）向外顶出并嵌入阴极小室（11）内；所述的开卷机构（201）和收卷机构（901）带动基带（5）实现往复运动。