[发明专利]半导体晶片示教夹具

摘要

本发明涉及在半导体制造线中安装半导体晶片搬运器进行作业的装载台中，用于提取晶片的指臂受损或发生故障或错误时，或为PM，(在发生突发故障之前，停止设备进行预先检验修理的作业行为)而重新进行示教的半导体晶片示教夹具，包括夹持器轴，在支撑板上在两侧竖立设置，且形成有用于插入安装半导体晶片的多个夹持器槽；限位器轴，竖立设置于上述夹持器轴后方两侧部并根据位置固定半导体晶片；刻度条，竖立设置于上述两侧的限位器轴后方中央，并标有用于确认半导体晶片的位置的刻度；框架上板，固定设置于上述夹持器轴、限位器轴及刻度条的上端部并形成有透视窗；第一及第二位置测量装置，各设置于上述夹持器轴的前后侧。

主权项

一种半导体晶片示教夹具，包括：夹持器轴(3)，在支撑板(1)上在两侧竖立设置，且形成有用于插入安装半导体晶片的多个夹持器槽(2)；限位器轴(4)，竖立设置于上述夹持器轴(3)后方两侧部并根据位置固定半导体晶片；刻度条(5)，竖立设置于上述两侧的限位器轴(4)后方中央，并标有用于确认半导体晶片的位置的刻度；框架上板(7)，固定设置于上述夹持器轴(3)、限位器轴(4)及刻度条(5)的上端部并形成有透视窗(6)；其中，上述夹持器轴(3)的夹持器槽(2)通过搁板台阶(2a)形成，上述搁板台阶(2a)在入口形成倾斜部(2b)，而在上述搁板台阶(2a)上在两侧突出形成用于安装半导体晶片的支撑台阶(2c)，而且，在上述限位器轴(4)上形成限位器槽(4a)，而在上述限位器槽(4a)中，以与上述支撑台阶(2c)相同的水平线形成用于安装半导体晶片的支撑台阶(4b)，在所述夹持器轴(3)的前后侧各安装有第一及第二位置测量装置(P)、(P1)；上述第一及第二位置测量装置(P)、(P1)在两侧固定设置导轨(8)，而在上述导轨(8)上，以被导轨块(11)导引地插入设置具备限位器(9)的测量固定块(10)；在上述测量固定块(10)上，通过铰链轴(14)可旋转地设置标有位置刻度(12)的测量板(13)，在上述限位器(9)和测量板(13)固定设置极性各不相同的磁铁(15)、(15a)，而且，在上述测量固定块(10)末端固定设置刻度支撑末端(16)；在上述两侧的刻度支撑末端(16)前方具备刻度盘。