[发明专利]一种对非球面的光学元件进行干涉测试的方法及系统有效
| 申请号： | 201510069546.7 | 申请日： | 2015-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN104655046B | 公开（公告）日： | 2017-10-31 |
| 发明（设计）人： | 梁晨;周丕轩 | 申请（专利权）人： | 帝麦克斯（苏州）医疗科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B9/02 |
| 代理公司： | 北京万慧达知识产权代理有限公司11111 | 代理人： | 杨洋,张锦波 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明揭示了一种对非球面的光学元件进行干涉测试的方法和系统，在反射中，由横向位于共路干涉仪光轴上的衍射元件形成两个衍射光束(具有不同的衍射级项)。第一衍射光束保持了照射到衍射元件上的波阵面，第二衍射光束具有与被测表面相对应的波阵面。第一衍射光束可以被猫眼装置中的表面反射，第二衍射光束可以被共聚焦平面的表面反射。待测的表面可以被调整来平衡反射到表面的第一衍射光束和第二衍射光束的强度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 球面 光学 元件 进行 干涉 测试 方法 系统 | ||
【主权项】：
一种对非球面的光学元件进行干涉测试的方法，该方法包括：反射第一光束和第二光束，由具有入射波阵面的入射光的衍射元件形成，沿着光轴由被测系统照射到衍射元件上，形成第一反射光束和第二反射光束，其中，与第一反射光束相对应的第一波阵面的特性与入射光波阵面的特性相似；与第二反射光束相对应的第二波阵面的特性包括入射波阵面的特性，通过被测系统的入射光束相交进行调整；根据光学数据，通过使用一个控制单元包括数据处理回路测定被测系统的非球面数据，所述光学数据由同轴传输的第一反射光束和第二反射光束形成的辐照度分布得到；还包括调整被测系统的空间分布，从而减弱第一反射光束和第二反射光束。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于帝麦克斯（苏州）医疗科技有限公司，未经帝麦克斯（苏州）医疗科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201510069546.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：温室加温炉
- 下一篇：一种红外成像产品的角度零位标定系统及方法
