[发明专利]电磁控溅镀阴极

摘要

本发明提供一种电磁控溅镀阴极，包含一导磁基板；一封闭排列的第一永久磁铁环，座于该导磁基板的外围上；一封闭排列的第二永久磁铁环座于该导磁基板中线上，该第二永久磁铁环与该第一永久磁铁环的N极相对于靶面为相反方向；一封闭的电磁线圈设于导磁基板上，且相对于第二永久磁铁环而言。电磁线圈邻接于第一永久磁铁环，该电磁线圈导入的电流周期变化以变化电浆团的位置以轰击靶材；电磁线圈的范围在靶外围至三分之二靶宽之间；一冷却铜底板设于第二永久磁铁环、第一永久磁铁环所包围的空间内且在该封闭的电磁线圈上；及一靶材设于该冷却铜底板上。利用本发明，电浆团能在控制线圈电流大小及周期而位移位置，以达到提高靶材利用率的目的。

主权项

一种电磁控溅镀阴极，其特征在于，该磁控溅镀阴极包括：一导磁基板；一封闭排列的第一永久磁铁环，座于该导磁基板的外圈上；一封闭排列的第二永久磁铁环，座于该导磁基板的中线上，该第二永久磁铁环与该第一永久磁铁环的N极相对于靶面为相反方向；封闭的电磁线圈设于该导磁基板上，且形成于该封闭排列的第一永久磁铁环及该封闭排列的第二永久磁铁环之间，且相对于该第二永久磁铁环而言；该电磁线圈邻接该第一永久磁铁环，该电磁线圈导入的电流周期变化以变化电浆团的位置以轰击靶材；一冷却铜底板设于该第二永久磁铁环、该第一永久磁铁环所包围的空间内且介于该封闭的电磁线圈及靶材之间；及一靶材设于该冷却铜底板上。